國科精密在極高精度元件鍍膜面形保障、低損耗深紫外光學薄膜制備、大口徑曲面膜厚均勻性控制、精修元件離子束濺射常溫鍍膜、長期激光輻照使用壽命評估等關鍵技術方面獲得全面突破，關鍵性能指標，如T=99.8%@193nm的雙面透過率、鍍膜后達0.1nm的元件面形精度等，達到或超過國際報道最佳結果。

圖1：NA0.75投影物鏡元件鍍膜后面形統計結果

圖2：通過優化鍍膜工藝實現了曲面元件光學性能的徑向一致性