光學檢測
國科精密擁有高精度大口徑Fizeau型干涉儀、白光干涉儀、原子力顯微鏡和配套的高精度溫控(優于±0.02℃)檢測實驗室,可提供全頻段(低頻、中頻、高頻、超高頻)深亞納米精度平球面和非球面光學表面檢測;同時也擁有Luphoscan非球面檢測儀、輪廓儀、三坐標和ASI拼接干涉儀等高性能檢測設備,可滿足各種非球面、自由曲面等異形表面的非接觸式和接觸式三維光學掃描測量、子孔徑拼接檢測等檢測需求。
檢測指標
? 平球面
n 直接檢測: 檢測口徑:平面<300mm,球面<500mm, 檢測精度<0.15nm RMS
n 拼接檢測: 檢測口徑<500mm, 檢測精度<15nm RMS
? 非球面
n 直接檢測: 檢測口徑<300mm, 檢測精度<λ/6 PV
n CGH 和補償鏡(NULL Lens): 檢測口徑<500mm, 檢測精度<0.3nm RMS