國科精密擁有高精度大口徑Fizeau型干涉儀、白光干涉儀、原子力顯微鏡和配套的高精度溫控（優于±0.02℃）檢測實驗室，可提供全頻段（低頻、中頻、高頻、超高頻）深亞納米精度平球面和非球面光學表面檢測；同時也擁有Luphoscan非球面檢測儀、輪廓儀、三坐標和ASI拼接干涉儀等高性能檢測設備，可滿足各種非球面、自由曲面等異形表面的非接觸式和接觸式三維光學掃描測量、子孔徑拼接檢測等檢測需求。

檢測指標

? 平球面

n 直接檢測： 檢測口徑：平面<300mm，球面<500mm，  檢測精度<0.15nm RMS

n 拼接檢測： 檢測口徑<500mm，  檢測精度<15nm RMS

? 非球面

n 直接檢測：   檢測口徑<300mm，  檢測精度<λ/6 PV

n CGH 和補償鏡（NULL Lens）：  檢測口徑<500mm， 檢測精度<0.3nm RMS